激光与普通光源不同，由于其亮度高、方向性好，能量密度大这一特殊性质将对安全构成危险。

　　1.使用激光器应佩戴对应248nm的激光防护眼镜，绝对禁止用眼镜直视激光，佩戴防护眼镜的情况下也不能直视激光，激光防护镜仅用于外激光的反射损伤。

　　2.禁止在光路上放置与实验无关的反光材料，避免激光反射入人眼，激光光路中不得放置易燃易爆物质；注意气瓶保护及有毒气体，使用完毕后及时关闭气瓶，每次换气后应用氦气冲洗氟气管道；气瓶的放置要稳固，防止气瓶倾倒。

　　3.注意高压，激光器内置电容有高压，没有经过培训，请勿打开激光器内部进行维修，激光内部只可保养氟气过滤器。对激光进行其他保养之前，务必理解操作手册中的说明。

　　4.激光器工作频率超过10Hz时，需接入循环水进行水冷，使用完毕及时关闭循环水，避免内部结水；激光器不宜在高温及潮湿环境下工作。