激光器维护的必须由经过专门培训的人员进行，否则容易产生严重的人为损坏。为此，负责维护的人员应做到以下几点：

　　第一，冷水机必需使用去离子水或纯净水，并在输出管道中安装混合离子交换树脂和过滤膜，在工作和存储时间超过1个月后，必须检查水的颜色和电导率，当颜色由清澈透明变成有颜色时，或者电阻率小于0.5M/cm时，要立即更换去离子水和混合离子交换树脂。

　　第二，相关元器件经搬动后，若运输途中经历过低温（零度下）环境，需放置12小时以上，以使机器内各部件与环境温度达到平衡。

　　第三，要注意在冷水机工作后尽快打开驱动源，以防在环境温度过高时出现结露现象。

　　第四，最好在超净环境下工作。非超净厂房下工作时，要经常在显微镜下擦拭模块晶体棒两端的端面，以确保干净无灰尘颗粒；第五，   在使用过程中，如出现紧急情况，可先直接按下恒流源面板上的触发按钮，再关闭冷水机电源，切断电、水连接。